Investigation of contact resistivity for Au—Ti—Pd—n-Si ohmic contacts for impatt diodes

Investigation of contact resistivity for Au—Ti—Pd—n-Si ohmic contacts for impatt diodes

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	V. V. Basanets, V. S. Slepokurov, V. V. Shinkarenko, Ja. Kudrik, Ja. Ja. Kudrik
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405313
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