Turtsevich, A. S., & Nalivaiko, O. Y. (2015). Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Turtsevich, A. S., und O. Y. Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. 2015.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Turtsevich, A. S., und O. Y. Nalivaiko. Deposition of Borophosphosilicate Glass Films Using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate System. 2015.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.