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Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	A. S. Turtsevich, O. Y. Nalivaiko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405316
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