Physical Mechanisms of SiO2 Target Sputtering with Accelerated Ions of C60
Gespeichert in:
| Datum: | 2015 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | M. V. Maleev, E. N. Zubarev, V. E. Pukha, A. N. Drozdov, A. S. Vus |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2015
|
| Schriftenreihe: | Metallophysics and advanced technologies |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000551437 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Institution
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