Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide

• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij
• Format: Artikel
• Sprache: English
• Veröffentlicht: 2015
• Schriftenreihe: Superhard Materials
• Online Zugang: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694060
• Назва журналу: Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS