Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide - Ju. D. Filatov; A. G. Vetrov; V. I. Sidorko; Ju. Filatov; S. V. Kovalev; V. D. Kurilovich; M. A. Danilchenko; T. A. Prikhna; A. I. Borimskij; A. M. Kutsaj; V. G. Poltoratskij (Superhard Materials, 2015)