Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering - A. O. Kozak; V. I. Ivashchenko; O. K. Porada; L. A. Ivashchenko; O. K. Synelnychenko; S. M. Dub; O. S. Lytvyn; I. I. Tymofieieva; H. M. Tolmacheva (Superhard Materials, 2015)