Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique

Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	A. P. Shapovalov, I. V. Korotash, E. M. Rudenko, F. F. Sizov, D. S. Dubyna, L. S. Osipov, Yu. Polotskiy, Z. F. Tsybrii, A. A. Korchovyi
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2015
Назва видання:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000706494
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique
за авторством: Shapovalov, A.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Structure and optical properties of AlN films obtained using the cathodic arc plasma deposition technique
за авторством: Shapovalov, A.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Ultra high vacuum cathodic arc for deposition of superconducting lead photo-cathodes
за авторством: Strzyzewski, P., та інші
Опубліковано: (2007)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: E. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of arc current on mechanical properties of AlCrN coatings deposited using cathodic arc evaporation
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2022)

Investigation of stability of arc of plasmatron with a deepened cathode
за авторством: V. A. Shapovalov, та інші
Опубліковано: (2013)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: Rudenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2015)

Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
за авторством: Zayats, M.S., та інші
Опубліковано: (2010)

Optical properties of silicon carbide obtained by direct ion deposition
за авторством: Lopin, A.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Modeling of dynamic characteristics of pulsed arc with refractory cathode
за авторством: I. V. Krivtsun, та інші
Опубліковано: (2013)

Modeling of electric arc with refractory cathode and evaporating anode
за авторством: I. V. Krikent, та інші
Опубліковано: (2014)

Modelling of Conditions of Existence of the Emitter of a Refractory Material During Cathodic Vacuum—Arc Deposition
за авторством: V. D. Alimov, та інші
Опубліковано: (2014)

Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire
за авторством: Vovk, E.A., та інші
Опубліковано: (2013)

The use of powder cathodes for the deposition of Ti-Si-N coatings from a filtered vacuum arc plasma
за авторством: V. V. Vasilev, та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of nitrogen pressure on the structural and mechanical properties of V-Mo-N coatings deposited by cathodic arc evaporation
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2022)

The model of the formation of a layered structure of coatings obtained by vacuum arc deposition
за авторством: Ju. V. Kunchenko, та інші
Опубліковано: (2005)

Structure and properties of FeCr, CrAl and FeCrAl coatings deposited by cathodic arc evaporation
за авторством: Vasilenko, R.L., та інші
Опубліковано: (2021)

Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath
за авторством: Romashchenko, E.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Numerical analysis of characteristics of plasma of compressed and freely-burning arc with refractory cathode
за авторством: I. V. Krivtsun, та інші
Опубліковано: (2016)

Vacuum-arc plasma source with steered cathode spot
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2008)

Modernization of optical microscope and its use to obtain digital images of microstructure of deposited metal
за авторством: A. A. Babinets, та інші
Опубліковано: (2020)

Propagation of ion plasma flow of cathodic arc disharge in hollow cathode (study and the first results)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Electron beam formation and its effect in novel plasma-optical device for evaporation of micro-droplets in cathode arc plasma coating
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2016)

Coatings obtained by deposition of refractory compounds from flows of vacuum-arc metallical plasma
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2003)

Electrodeposition of tungsten fro mionicmelt: different types of structures of cathode deposits
за авторством: V. V. Malyshev, та інші
Опубліковано: (2016)

I. Cathodic erosion and the cathodic mass losses in steady-state low-pressure arc discharge
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2004)

Corrosion durability of nanostructured TiAlYN coatings, deposited by PIII&D method from filtered vacuum-arc cathodic plasma
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Deposition of superhard vacuum-arc TiN coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

Optimization of use conditions for cathodic arc nickel coating doped with phosphorus
за авторством: Lapitskaya, V.A., та інші
Опубліковано: (2021)

Multi-element coatings (Zr-Ti-Al-Nb-Y)N, obtained by vacuum arc deposition
за авторством: I. N. Torjanik, та інші
Опубліковано: (2013)

Modelling of processes of heat, mass and power transfer in arc column and anode zone with refractory cathode
за авторством: I. V. Krikent, та інші
Опубліковано: (2012)

High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter
за авторством: Vasylyev, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

CdS films on the porous substruction of Si obtained by chemical surface deposition
за авторством: A. F. Diadenchuk, та інші
Опубліковано: (2018)

Characteristics of high-frequency pulsed current arc with refractory cathode
за авторством: I. Krivtsun, та інші
Опубліковано: (2022)

Model of processes of heat-, mass- and electrical transfer in anode region and welding arc column with refractory cathode
за авторством: I. V. Krivtsun, та інші
Опубліковано: (2010)

Optical and photoluminescent properties of Ag/Al₂O₃ nanocomposite films obtained by pulsed laser deposition
за авторством: Manoilov, E.G.
Опубліковано: (2009)

Optical properties of ZnS:Ni crystals obtained by diffusion doping
за авторством: Vaksman, Yu.F., та інші
Опубліковано: (2010)

Structural, electrical and optical investigations of Cu₆PS₅Br-based thin film deposited by HiTUS technique
за авторством: Studenyak, I.P., та інші
Опубліковано: (2016)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
за авторством: S. V. Dudin, та інші
Опубліковано: (2005)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2005)