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Voids&#039; layer structures in silicon irradiated with high doses of high-energy helium ions

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	M. I. Starchyk, L. S. Marchenko, M. B. Pinkovska, G. G. Shmatko, V. I. Varnina
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000714276
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