Зображення обкладинки

Modeling the process of removal aimed at cut traces on semiconductor wafers by using the method of contactless chemical-and-dynamical polishing

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	G. A. Pashchenko, Yu. Kravetskyi, A. V. Fomin
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2015
Назва видання:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000714283
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers
за авторством: Grigoriev, N.N., та інші
Опубліковано: (2002)

Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing
за авторством: A. V. Fomin, та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of the effect of technological parameters on efficiency of chemical string cutting of semiconductor materials
за авторством: Kravetsky, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2002)

Relative Motion Control System of Spacecraft for Contactless Space Debris Removal
за авторством: S. V. Khoroshylov
Опубліковано: (2018)

Chemical-dynamic polishing of semiconductor materials based on Bi and Sb chalcogenides by using HNO3-HCl solutions
за авторством: I. I. Pavlovich, та інші
Опубліковано: (2011)

Peculiarities of contactless ignitions of alternating current arc
за авторством: N. M. Makhlin
Опубліковано: (2015)

Express method for contactless measurement of parameters of thermoelectric materials
за авторством: A. A. Ashcheulov, та інші
Опубліковано: (2015)

Using the possibilities of information and communication technologies for contactless sales of narcotics in Ukraine
за авторством: V. S. Batyrharieieva
Опубліковано: (2023)

в-cyclodextrin-MCM-41 silica as promising adsorbent for the trace amounts removal of aromatics from water
за авторством: I. M. Trofymchuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Material removal rate in polishing polymethymethacrylate parts
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2024)

Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)

Contactless sensory system for evaluation of the geometrical parameters of railway rail profiles
за авторством: V. A. Koljada
Опубліковано: (2009)

Material removal rate in polishing of polymer optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Recombination characteristics of single-crystalline silicon wafers with a damaged near-surface layer
за авторством: A. V. Sachenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Recombination characteristics of single-crystalline silicon wafers with a damaged near-surface layer
за авторством: A. V. Sachenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Dynamic Capabilities of an Enterprise: Methods of Revelation and Tracing Maturity
за авторством: O. M. Hrebeshkova, та інші
Опубліковано: (2013)

Contactless system for determination of coordinates of fl aw detector measuring transducer
за авторством: S. M. Maievskyi, та інші
Опубліковано: (2012)

Electroreflectance spectroscopy and scanning electron microscopy study of microrelief silicon wafers with various surface pretreatments
за авторством: Gorbach, T.Ya., та інші
Опубліковано: (1998)

Analysis and method of calculation of electronic devices of series connection for contactless exciting of arc
за авторством: N. M. Makhlin, та інші
Опубліковано: (2014)

Heat Loss from Exterior Surfaces of Heat Engineering Equipment Contactless Determination
за авторством: V. A. Vinogradov-Saltykov, та інші
Опубліковано: (2011)

Problems of chemical-dynamic polishing in the technology of silicon p-i-n photodiodes
за авторством: M. S. Kukurudziak
Опубліковано: (2023)

Modernization of contactless and light-guide temperature control of metal alloys on the base of multicolour pyrometry
за авторством: L. F. Zhukov, та інші
Опубліковано: (2018)

Glass dispersion during his grinding and polishing. Mechanism of his removal
за авторством: V. N. Tkach, та інші
Опубліковано: (2019)

Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

The process of forming the polycrystalline silicon wafer from the powder raw material and analyzing the impurity composition of their surface
за авторством: R. Aliev, та інші
Опубліковано: (2011)

Photocatalysis and optical properties of ZnO nanostructures grown by MOCVD on Si, Au/Si and Ag/Si wafers
за авторством: V. A. Karpyna, та інші
Опубліковано: (2023)

Efficiency of linear accelerators for applied aims
за авторством: Lymar, A.G., та інші
Опубліковано: (2001)

Improvement of profi ling procedure at contactless testing of insulating coating of underground metal pipelines
за авторством: B. V. Kostiv, та інші
Опубліковано: (2010)

Individuality of photoresponse dynamics of semiconductor sensors
за авторством: Mygal, V.P., та інші
Опубліковано: (2017)

Biomagnetism of tumor in rats with Guerin’s carcinoma after injection of ferromagnetic nanocomposite (Ferroplat): contactless measurement
за авторством: Todor, I.N., та інші
Опубліковано: (2023)

The Tools to Improve Management of Generating and Using Profit with the Aim to Capitalization of Enterprise
за авторством: V. I. Kutsyk, та інші
Опубліковано: (2017)

Active carbons characteristics impact on the removing efficiency from water of pharmaceuticals with various chemical nature
за авторством: E. A. Korzh, та інші
Опубліковано: (2016)

Following Boris Edwards traces
за авторством: V. Kudlach
Опубліковано: (2016)

The Traces of the Aramaisms of the Septuagint in the Vulgate
за авторством: V. V. Pryimachenko
Опубліковано: (2009)

The European regional integration: the preconditions and aims of foundation
за авторством: Sytnyk, І.V.
Опубліковано: (2010)

Mediation of an Advertising Document with the Aim of Sensitize to the Other
за авторством: D. Rousnak, та інші
Опубліковано: (2021)

Theories about goals (aims/purposes) of punishment
за авторством: M. Bezhanidze
Опубліковано: (2019)

The European regional integration: the preconditions and aims of foundation
за авторством: I. V. Sytnyk
Опубліковано: (2010)

Physical and chemical fixing of landslides
за авторством: A. A. Pashchenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of laser radiation on the reliability of the cutting tool of mining machines
за авторством: V. F. Gankevich, та інші
Опубліковано: (2017)