$Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist$

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	V. A. Danko, G. V. Dorozinsky, I. Z. Indutnyi, V. I. Mynko, Yu. V. Ushenin, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lukaniuk, A. A. Korchovyi, R. V. Khrystosenko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000714337
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