Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	O. O. Yefremov, V. H. Lytovchenko, V. P. Melnyk, O. S. Oberemok, V. H. Popov, B. M. Romaniuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Ukrainian Journal of Physics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000732056
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