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Theoretical study on laser annealing of non-stoichiometric SiOX films

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
1. Verfasser:	O. O. Gavrylyuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Chemistry, physics and technology of surface
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000282189
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