Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: O. V. Steblova, A. A. Evtukh, O. L. Bratus, L. L. Fedorenko, M. V. Voitovych, O. S. Lytvyn, O. O. Gavrylyuk, Yu. Semchuk
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2014
Назва видання:Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000352938
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси