The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films

The influence of HF discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor "Almaz" for the synthesis of diamond-like carbon films

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	V. V. Gladkovskij, E. G. Kostin, B. P. Polozov, O. A. Fedorovich, V. A. Petrjakov
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2014
Назва видання:	Technology and design in electronic equipment
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405303
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Bloody "Almaz": de/construction of one revolution myth in Odesa
за авторством: T. Vintskovskyi
Опубліковано: (2018)

Investigation of the influence of oxygen on the rate and anisotropy of deep etching of silicon in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field
за авторством: V. V. Gladkovskij, та інші
Опубліковано: (2017)

Modulation polarimetry of full internal reflection, broken by diamond-like films
за авторством: L. S. Maksimenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Specific electrical conductivity of graphite composite heaters for HPHT diamond growing
за авторством: O. V. Savitskyi, та інші
Опубліковано: (2017)

Development of a new device for triggering a linear electron accelerator "ALMAZ-2"
за авторством: Zaleskyi, D.Yu., та інші
Опубліковано: (2021)

Fatou and Julia like sets
за авторством: K. S. Charak, та інші
Опубліковано: (2021)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Optical and protective properties of different type diamond and diamond-like carbon films
за авторством: Semikina, T.V., та інші
Опубліковано: (2001)

"Roadblock": Lines Like Shots
за авторством: N. Herasymenko
Опубліковано: (2017)

Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma
за авторством: V. S. Sedov, та інші
Опубліковано: (2012)

"...Like I Am Reading the History of Ukraine"
за авторством: V. M. Yaremenko
Опубліковано: (2019)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

The wear of diamond crystals under conditions of frictional contact "diamond-abrasive composite – concrete"
за авторством: V. E. Babich, та інші
Опубліковано: (2017)

Radon in the sub-reactor room 210/7 of the "Ukryttya" object
за авторством: B. I. Ogorodnikov, та інші
Опубліковано: (2018)

Microplasticity of subsurface layers of diamond-like semiconductors under microindentation
за авторством: Nadtochiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)

Application of HF discharge for nitriding of various surfaces
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Bench tests of thermoelectric starting pre-heater for cars
за авторством: M. V. Maksimuk
Опубліковано: (2018)

Bench tests of thermoelectric starting pre-heater for cars
за авторством: N. V. Maksimuk
Опубліковано: (2018)

Bench tests of thermoelectric starting pre-heater for cars
за авторством: M. V. Maksymuk
Опубліковано: (2018)

Bench tests of thermoelectric starting pre-heater for cars
за авторством: M. V. Maksymuk
Опубліковано: (2018)

Mineralogical Features of Diamond, Amorphous Diamond-Like Carbon and Graphite from Chagatay Carbonatites (Uzbekistan)
за авторством: T. G. Shumilova, та інші
Опубліковано: (2013)

"Funeral Feast": Sets of Jugs in Cherniakhiv Culture Burials
за авторством: R. M. Reida, та інші
Опубліковано: (2015)

Radon in sub-reactor room 012/7 of "Ukryttya" object's
за авторством: B. I. Ogorodnikov, та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of functional cover of particles of diamond nanopowders on sintering nanocomposites "diamond - tungsten carbide"
за авторством: T. O. Kuryliak
Опубліковано: (2016)

Analysis of the fundamental characteristics of diamond-like crystals and low-dimensional structures
за авторством: Litovchenko, V.G.
Опубліковано: (2004)

On the formation of a solid solution having the diamond_like lattice in the wurtzitic boron nitride–cubic diamond system
за авторством: G. S. Olejnik, та інші
Опубліковано: (2014)

On the formation of a solid solution having the diamond_like lattice in the wurtzitic boron nitride–cubic diamond system
за авторством: G. S. Olejnik, та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of diamond-like films by the methods of raman light scattering and nanoindentation
за авторством: A. N. Kirichenko, та інші
Опубліковано: (2011)

Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
за авторством: Bizukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)

Optical properties of diamond-like carbon films subjected to ultraviolet irradiation
за авторством: Klyui, N.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Computer design of thermoelectric starting pre-heater on gas fuel
за авторством: M. V. Maksimuk
Опубліковано: (2016)

On the Functional Use of the T-shaped Plaques in the Belt Sets "Heraldic" Style
за авторством: A. V. Skyba
Опубліковано: (2017)

Rhombohedron /011‾2/ on crystals of marmarosh "diamonds" (Ukrainian Carpathians)
за авторством: I. V. Kvasnytsia
Опубліковано: (2016)

Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources
за авторством: Muratov, R.M., та інші
Опубліковано: (2014)

Electronic control unit for thermoelectric automobile starting pre-heater
за авторством: M. V. Maksimuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Rational powers of thermal generators for starting pre-heaters of vehicles
за авторством: Ya. Mykhailovsky, та інші
Опубліковано: (2015)

Manufacture of resistive electric heater by the method of microplasma spraying
за авторством: Ju. S. Borisov, та інші
Опубліковано: (2013)

The method of optical investigations of the nanostructural diamond-like a-C:N films
за авторством: Kara-Murza, S.V., та інші
Опубліковано: (2007)