Synthesis and study of silicate sol–gel coatings for micro- and nanoelectronics
Gespeichert in:
| Datum: | 2014 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | V. V. Vaskevich, V. E. Gajshun, D. L. Kovalenko |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2014
|
| Schriftenreihe: | Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476016 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Institution
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASÄhnliche Einträge
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