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Annealing Effect on the Microstructure and Mechanical Properties of a Thin Titanium Nitride Film

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	S. C. Her, C. L. Wu
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Strength of Materials
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000576110
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