Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/Si multilayers

Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/Si multilayers

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	I. A. Zhuravel, E. A. Bugaev, A. V. Penkov, E. N. Zubarev, V. A. Sevrjukova, V. V. Kondratenko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000971639
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