Yakovin, S. D., Zykov, O. V., Dudin, S. V., Farenik, V. I., & Yunakov, M. M. (2014). Ion-plasma system for reactive magnetron deposition.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Yakovin, S. D., O. V. Zykov, S. V. Dudin, V. I. Farenik, und M. M. Yunakov. Ion-plasma System for Reactive Magnetron Deposition. 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Yakovin, S. D., et al. Ion-plasma System for Reactive Magnetron Deposition. 2014.
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