Ion-plasma system for reactive magnetron deposition

Ion-plasma system for reactive magnetron deposition

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	S. D. Yakovin, O. V. Zykov, S. V. Dudin, V. I. Farenik, M. M. Yunakov
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001030980
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