Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	A. V. Sagalovich, V. V. Sagalovich, S. V. Dudin, V. I. Farenik
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2014
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Ion-plasma system for reactive magnetron deposition
за авторством: S. D. Yakovin, та інші
Опубліковано: (2014)

Application of metal coatings for protecting welded joints prone to electro-chemical corrosion
за авторством: S. F. Dudnik, та інші
Опубліковано: (2003)

The investigation of friction and wear characteristics of ion-plasma coatings, received on the aluminum alloy
за авторством: C. F. Dudnik, та інші
Опубліковано: (2004)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: A. Sagalovych, та інші
Опубліковано: (2012)

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: Sagalovych, A., та інші
Опубліковано: (2012)

Oxygen diffusion saturation of hafnium with the different surface layer
за авторством: V. S. Trush, та інші
Опубліковано: (2023)

Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2021)

Structure formation of protective coatings on steels depending on the mode of diffusion saturation
за авторством: M. V. Kindrachuk, та інші
Опубліковано: (2012)

Application of coatings on difficult-to-profile precision surfaces by gas-phase method (CVD)
за авторством: A. V. Sagalovich, та інші
Опубліковано: (2011)

Deposition of refractory metal films with planar plasma ECR source
за авторством: Fedorchenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2007)

Bone-like coatings deposition by using of modern pulsed ion-plasma technology
за авторством: Zykova, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2007)

Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
за авторством: Aksenov, I.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Coatings obtained by deposition of refractory compounds from flows of vacuum-arc metallical plasma
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2003)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
за авторством: S. V. Dudin, та інші
Опубліковано: (2005)

Physical and mechanical properties of ceramic and metal-ceramic coatings deposited using plasma detonation
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2006)

The gas-saturation of metal in conditions of different technologies of basic oxygen process
за авторством: V. P. Korchenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2016)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2005)

Application of coatings on inner surfaces of metallic and dielectric pipes with the use of HF -plasma source
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2005)

Research and development of technological systems based on high-frequency induction discharge for reactive ion-plasma etching of micro- and nanostructures
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2009)

Multicomponent coatings for precise tribological pairs working in friction assembly of machine building and aviation
за авторством: A. V. Sagalovich, та інші
Опубліковано: (2007)

Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source
за авторством: Lunyov, V.M., та інші
Опубліковано: (2016)

Vacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatings
за авторством: Aksenov, I.I., та інші
Опубліковано: (2000)

One- and two-component diffusion saturation of titanium with interstitial elements
за авторством: Ya. S. Matychak, та інші
Опубліковано: (2013)

Characteristics of the plasma created by ECR plasma source for thin films deposition
за авторством: Fedorchenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2005)

Pore evolution at reactive diffusion in spherical and cylindrical nanoparticles
за авторством: O. M. Podolyan, та інші
Опубліковано: (2013)

Pore evolution at reactive diffusion in spherical and cylindrical nanoparticles
за авторством: O. M. Podolian, та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of saturation degree of metal-hydride cathode on characteristics of penning type ion source of hydrogen
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2003)

Diffusion saturation of alloy VT6 by nitrogen, carbon, oxygen
за авторством: M. M. Bobina, та інші
Опубліковано: (2011)

Radio frequency plasma reactive engine
за авторством: Zajtzev, B.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Peculiarities of saturation with deuterium of vacuum-arc coatings based on iron
за авторством: H. D. Tolstolutska, та інші
Опубліковано: (2020)

Plasma activated eb-deposition: different modes of arc discharge and plasma characteristics
за авторством: Safonov, V.
Опубліковано: (2017)

Influence of the polarization of molecules of metal oxides on the diffusion coefficient in smoky plasmas
за авторством: G. S. Dragan, та інші
Опубліковано: (2014)

Influence of the polarization of molecules of metal oxides on the diffusion coefficient in smoky plasmas
за авторством: G. S. Dragan, та інші
Опубліковано: (2014)

Structure of diffusion layers of iron alloys after laser treatment in saturation atmosphere
за авторством: Ye. V. Ivashchenko, та інші
Опубліковано: (2009)

Regularities of thermo-diffusion saturation of titanium alloys from amorphous boron in nitrogen
за авторством: V. M. Fedirko, та інші
Опубліковано: (2011)

Comparative analysis of an efficiency of cumulative-detonation and HVOF devices, which are applied for gas-thermal deposition of coatings
за авторством: Ju. N. Tjurin, та інші
Опубліковано: (2009)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)