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Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	A. V. Sagalovich, V. V. Sagalovich, S. V. Dudin, V. I. Farenik
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073
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