Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	A. V. Sagalovich, V. V. Sagalovich, S. V. Dudin, V. I. Farenik
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001031073
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