Vasilenko, N. A., & Vasilenko, A. O. (2013). Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Vasilenko, N. A., та A. O. Vasilenko. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. 2013.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Vasilenko, N. A., та A. O. Vasilenko. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. 2013.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.