Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2013
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| Schriftenreihe: | Journal of mechanical engineering |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000450102 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |