Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles

Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Ju. P. Pershin, V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, A. S. Oberemok, V. P. Melnik, B. N. Romanjuk, V. G. Popov, P. M. Litvin
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Metallophysics and advanced technologies
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000521434
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