Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
Збережено в:
Дата: | 2013 |
---|---|
Автори: | Ju. P. Pershin, V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, A. S. Oberemok, V. P. Melnik, B. N. Romanjuk, V. G. Popov, P. M. Litvin |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
2013
|
Назва видання: | Metallophysics and advanced technologies |
Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000521434 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
-
Borophosphosilicate glass component analysis using secondary neutral mass spectrometry
за авторством: Oberemok, O., та інші
Опубліковано: (2002) -
Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si
за авторством: V. A. Sevrjukova, та інші
Опубліковано: (2011) -
Initial stages of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation
за авторством: D. L. Voronov, та інші
Опубліковано: (2004) -
Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures
за авторством: A. A. Efremov, та інші
Опубліковано: (2015) -
Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers
за авторством: Penkov, A.V., та інші
Опубліковано: (2005)