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Influence of the distribution of scatters of knocked-out atoms in a cascade of collisions on the formation of a relief upon irradiation of an amorphous target Si with 1-keV Ar ions

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
1. Verfasser:	A. A. Gubarev
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000927290
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