Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge

Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2021
Автори:	Yu. V. Kovtun, G. P. Glazunov, V. E. Moiseenko, S. M. Maznichenko, M. N. Bondarenko, A. L. Konotopskiy, Y. V. Siusko, I. K. Tarasov, A. N. Shapoval, A. V. Lozin
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2021
Назва видання:	Science and Innovation
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001320931
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Vacuum-plasma properties of stainless steel after impact of combined glow-microwave discharges in argon atmosphere
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of movable B₄C-limiter on characteristics of RF discharge plasma in the Uragan-2M torsatron
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2019)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Plasma parameters evolution during conditioning RF discharges in Uragan-2M torsatron
за авторством: Skibenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2009)

Production of metal and dielectric films in a combined RF and arc discharge
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2003)

2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part II. similarity of TDES in a solid and in the RF discharge
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2019)

Plasma cleaning of technological chambers in rf capacitive discharges
за авторством: V. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2004)

Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

The effect of nitrogen pressure during vacuum-arc TiN coatings deposition on the erosoin resistance in plasma of magnetron type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2014)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings and stainless steel under the influence of stationary plasma discharges of a magnetron type
за авторством: G. P. Glazunov, та інші
Опубліковано: (2011)

Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)

The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films
за авторством: V. I. Gritsenko, та інші
Опубліковано: (2003)

Erosion behavior of materials on basis of tungsten hot pressed in vacuum under mirror Penning discharge plasma impact
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2007)

The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Some aspects of deposition of conductive, dielectric and protective coatings on insulators with using arc discharge dc and RF bias
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)

Vacuum arc plasma in presence of gas in discharge ambient
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2005)

Some aspects of RF discharge in the "U-3M" torsatron
за авторством: Berezhniy, V.L., та інші
Опубліковано: (2007)

The possible variant of pulsed RF-discharge cleaning mode of the Uragan-3m torsatron
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2005)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)

Reforming of ethanol in plasma-catalytic system with dc and ac rotating gliding discharge
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2021)

Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023)

DC gas breakdown and townsend discharge in CO₂
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2020)

Studying CO₂ conversion in DC glow discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2020)

Conditions of the normal mode appearence in the DC glow discharge
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2006)

Helium release from 12Cr18Ni10Ti stainless steel after impact of steady-state glow discharge helium plasma
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2021)

Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)

Modified paschen's law for dc discharge ignition
за авторством: V. A. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2008)

Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)

Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Experimental study of inhomogeneous reflex-discharge plasma using microwave refraction interferometry
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2018)

Experimental study of inhomogeneous reflex-discharge plasma using microwave refraction interferometry
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2018)

Erosion behavior of W-Ta coatings in plasmas of stationary mirror Penning discharges
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)

Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)

2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part I. General observations
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2018)