Sarikov, A., & Naseka, V. (2012). Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sarikov, A., und V. Naseka. Characteristics of Gettering Process in Multicrystalline Si Wafers with Combined Porous Si/Al Getters. 2012.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Sarikov, A., und V. Naseka. Characteristics of Gettering Process in Multicrystalline Si Wafers with Combined Porous Si/Al Getters. 2012.
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