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Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	A. Sarikov, V. Naseka
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000350278
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