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Mechanical scanning probe nanolithography: modeling and application

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	P. M. Lytvyn, O. S. Lytvyn, O. M. Dyachynska, K. P. Grytsenko, S. Schrader, I. V. Prokopenko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000350384
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