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Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Yu. V. Kovtun, E. I. Skibenko, A. I. Skibenko, V. B. Yuferov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Ukrainian journal of physics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000685748
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