Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development

Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	V. E. Storizhko, V. I. Miroshnichenko, A. G. Ponomarev
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Science and innovation
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000740630
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