Zaiats, M. S., Boiko, V. H., Romaniuk, B. M., & Lytvyn, P. M. (2021). Low-temperature ion-plasma deposition technology of nanostructured films of aluminum and boron nitrides.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Zaiats, M. S., V. H. Boiko, B. M. Romaniuk, und P. M. Lytvyn. Low-temperature Ion-plasma Deposition Technology of Nanostructured Films of Aluminum and Boron Nitrides. 2021.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Zaiats, M. S., et al. Low-temperature Ion-plasma Deposition Technology of Nanostructured Films of Aluminum and Boron Nitrides. 2021.
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