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Comparative study of positive and negative ion flows extracted from downstream plasmas beyond magnetic and electrostatic electron filters

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	S. Dudin, D. Rafalskyi, L. Popelier, A. Aanesland
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000904475
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