Structural transformation in C/Si multilayer after annealing

Structural transformation in C/Si multilayer after annealing

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	I. O. Zhuravel, Ye. A. Bugayev, L. E. Konotopsky, E. M. Zubarev, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2012
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000906907
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge

Structural transformation in C/Si multilayer after annealing
von: Zhuravel, I.O., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
von: Konotopsky, L.E., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
von: Konotopsky, L.E., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Formation and evolution of intermixing zones in C/Si multilayer under heating
von: Zhuravel, I.A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/Si multilayers
von: I. A. Zhuravel, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Nanoscale Co/C multilayers for "carbon window" Schwarzchild objective
von: Bugayev, Ye.A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Change of Structure and Optical Properties of Multilayer C/Si X-Ray Mirrors under Heating
von: I. A. Zhuravel, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer
von: Devizenko, A.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Structural-phase transformations in multilayer periodic compositions W-B4C with a period of 2.5 nm with heating
von: I. A. Kopylets, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Ellipsometric evidence of CoSi₂ formation in Co/Si multilayer induced by thermal annealing
von: Kudryavtsev, Y.V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Growth and structure of WC/Si multilayer x-ray mirror
von: Pershyn, Y.P., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Study of postimplantation annealing of SiC
von: Avramenko, S.F., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Initial stages of diffusion and phase formation in Sc/Si layered systems
von: Voronov, D.L., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Features of diffusion mixing in Mo/Si multilayers
von: Penkov, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Evolution of structural and electrophysical parameters of Ni/SiC contacts at rapid thermal annealing
von: Litvinov, V.L., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO₂(Si) films under thermal and laser annealing
von: Steblova, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Investigation of the structure of interlayer interfaces in multilayer periodic compositions of Cr/Sc and Co/C by the method X-ray diffuse scattering
von: I. A. Zhuravel, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing
von: O. B. Okhrimenko
Veröffentlicht: (2014)

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing
von: Okhrimenko, O.B.
Veröffentlicht: (2014)

Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing
von: O. V. Steblova, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Thermal annealing and evolution of defects in neutron-irradiated cubic SiC
von: Bratus, V.Ya., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Initial stages of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation
von: D. L. Voronov, et al.
Veröffentlicht: (2004)

Quantum effects in multilayer Si-Ge nanoheterostructures
von: Kozyrev, Yu.N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Thermal annealing and evolution of defects in neutron-irradiated cubic SiC
von: Ya. Bratus, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
von: Ju. P. Pershin, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Structure perfection variations of Si crystals grown by Czochralski or floating zone methods after implantation of oxygen or neon atoms followed by annealing
von: Datsenko, L.I., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Comparison of properties inherent to thin titanium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC and porous SiC substrates
von: Yu. Yu. Bacherikov, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Structural properties of nanocomposite SiO₂(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
von: Bratus, O.L., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Optical properties of thin erbium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC substrates with different structures
von: Yu. Yu. Bacherikov, et al.
Veröffentlicht: (2017)

The structural-phase composition in CoSb1,82-5,45 (30 nm)-SiO2 (100 nm)-Si (001) nanoscaled film compositions after deposition and annealings
von: Ju. N. Makogon, et al.
Veröffentlicht: (2010)

Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
von: Malykhin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Multilayer periodic compositions of ZrC/Mg for a wavelength of 30.4 nm
von: L. E. Konotopskij, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Structural properties of nanocomposite SiO2(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
von: O. L. Bratus, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Thin dysprosium oxide films formed by rapid thermal annealing on porous SiC substrates
von: Yu. Yu. Bacherikov, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Influence of conditions of deposition and annealing on a nanohardness of amorphous Si–C–N films
von: O. K. Porada
Veröffentlicht: (2015)

Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC
von: Vasyliev, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Magnetic and resonance properties of multilayer (Gd/Si/Co/Si)ₙ films
von: Patrin, G.S., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Homogeneity estimation morphometric model for particle distribution on example of SiC deposited on multilayer structure Fe/NiP
von: T. Komenda, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Homogeneity estimation morphometric model for particle distribution on example of SiC deposited on multilayer structure Fe/NiP
von: Komenda, T., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Electrical properties of semiconductor structures with Si nanoclusters in SiO₂ grown by high temperature annealing technology of SiOx layer, X<2
von: Bunak, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)