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Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2011
Hauptverfasser:	I. Z. Indutnyi, V. I. Mynko, Ye. Shepeliavyi, M. V. Sopinskyi, V. M. Tkach, V. A. Danko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2011
Schriftenreihe:	Optoelectronics and Semiconductor Technique
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363683
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