Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si
Gespeichert in:
| Datum: | 2011 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, Ju. P. Pershin, V. O. Tsebenko |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2011
|
| Schriftenreihe: | Physical surface engineering |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Institution
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASÄhnliche Einträge
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