Buchumschlag

Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2011
Hauptverfasser:	V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, Ju. P. Pershin, V. O. Tsebenko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2011
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge

Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
von: Zayats, M.S., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods
von: A. D. Pogrebnjak, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Stydy on resistivity and micostructure of magnetron sputtered α-C:Si films
von: Onoprienko, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Structural properties of nanocomposite SiO₂(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
von: Bratus, O.L., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Structural properties of nanocomposite SiO2(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
von: O. L. Bratus, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Structure and properties of the coatings of the Al–B–Si–C system deposited by magnetron sputtering
von: A. O. Kozak, et al.
Veröffentlicht: (2020)

The influence of the magnetron sputtering regime and the composition of the reaction gas on the structure and properties of ITO films
von: A. I. Bazhin, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/Si multilayers
von: I. A. Zhuravel, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering
von: A. O. Kozak, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Structural and optical studies of Cu₆PSe₅I-based thin film deposited by magnetron sputtering
von: Studenyak, I.P., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
von: Ju. P. Pershin, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Infrared heaters with thin-film conductive layers were synthesized on the glass by the magnetron sputtering
von: Lytvynenko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target
von: A. A. Onoprienko, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Characterisation of Mo–V–N Coatings Deposited on XC100 Substrate by Sputtering Cathodic Magnetron
von: Chermime, Brahim, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering
von: O. I. Vjunov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
von: Sagalovych, A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
von: A. Sagalovych, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Structural and optical studies of Cu6PSe5I-based thin film deposited by magnetron sputtering
von: I. P. Studenyak, et al.
Veröffentlicht: (2017)

The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films
von: G. S. Khrypunov, et al.
Veröffentlicht: (2017)

The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films
von: Khrypunov, G.S., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
von: Nowakowska-Langier, K., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Structural and morphological properties of nanometer carbon films obtained by electron beam sputtering of graphite
von: V. O. Yukhymchuk, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
von: A. A. Goncharov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Chemical composition and light emission properties of Si-rich-SiOx layers prepared by magnetron sputtering
von: Khomenkova, L., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
von: S. V. Dudin, et al.
Veröffentlicht: (2005)

Phase composition, structure and stress state of magnetron sputtered W-Ti condensates
von: Sobol`, O.V.
Veröffentlicht: (2006)

Formation of antibacterial coatings on chitosan matrices by magnetron sputtering
von: O. V. Kalinkevich, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Initial stages of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation
von: D. L. Voronov, et al.
Veröffentlicht: (2004)

Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings
von: Yu. S. Borysov, et al.
Veröffentlicht: (2022)

Electrical and optical parameters of Cu₆PS₅I-based thin films deposited using magnetron sputtering
von: Studenyak, I.P., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
von: Dobrovolskiy, A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Optical and structural studies of phase transformations and composition fluctuations at annealing of Zn₁₋xCdxO films grown by dc magnetron sputtering
von: Kolomys, O., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2
von: I. N. Torianik, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system
von: Afanasіeva, I.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron
von: Panchenko, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Optical and structural studies of phase transformations and composition fluctuations at annealing of Zn1-xCdxO films grown by dc magnetron sputtering
von: O. Kolomys, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2005)