Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, Ju. P. Pershin, V. O. Tsebenko
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2011
Назва видання:Physical surface engineering
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS