Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn
Microstructure investigations of thin Si-Sn alloy films were carried out, by using Auger and Raman spectroscopies, X-ray fluorescence analysis, and electron microscopy. The films were produced by the thermal-vacuum coevaporation of Si and Sn. The properties of films with the Sn content ranging from...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018363 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2018363 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20183632019-03-09T08:06:38Z Microstructure of thin Si–Sn Composite Films Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn Neimash, V. B. Poroshin, V. M. Kabaldin, A. M. Yukhymchuk, V. O. Shepelyavyi, P. E. Makara, V. A. Larkin, S. Yu. мiкроструктура тонких композитних плiвок метод Оже метод раманiвської спектроскопiї Microstructure of thin composite films Auger method Raman spectroscopy Microstructure investigations of thin Si-Sn alloy films were carried out, by using Auger and Raman spectroscopies, X-ray fluorescence analysis, and electron microscopy. The films were produced by the thermal-vacuum coevaporation of Si and Sn. The properties of films with the Sn content ranging from 1 to 5 wt.% are studied. A significant influence of the tin impurity on the formation of a film surface microrelief and nanocrystals in the amorphous matrix is found. The size of quasispherical formations on the film surface can be of the order of 100 nm. The volume fraction of the silicon nanocrystalline phase in a film can reach 90%. The roles of fabrication conditions and growth rate on the distributions of Sn and technological impurities C and O over the film surface and across the film thickness are analyzed. Методами оже та раманiвської спектроскопiї, рентгенiвського флуоресцентного аналiзу та електронної мiкроскопiї дослiджено особливостi мiкроструктури тонких плiвок сплаву Si–Sn, виготовлених термовакуумним спiввипаровуванням Si та Sn. Дослiджено властивостi плiвок з вмiстом Sn в iнтервалi вiд 1 до 5 вагових вiдсоткiв. Встановлено суттєвий вплив олова на формування мiкрорельєфу поверхнi плiвок та нанокристалiв у аморфнiй матрицi. Квазiсферичнi утворення на поверхнi плiвок можуть сягати розмiрiв порядку 100 нм. Частка нанокристалiчної кремнiєвої фази в плiвцi може досягати 90% її об’єму. Проаналiзовано роль умов та швидкостi росту плiвок у розподiлi концентрацiї Sn та технологiчних домiшок С i О по поверхнi та товщинi плiвок. Publishing house "Academperiodika" 2018-10-11 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018363 10.15407/ujpe58.09.0865 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 58 No. 9 (2013); 865 Український фізичний журнал; Том 58 № 9 (2013); 865 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe58.09 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018363/335 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018363/336 Copyright (c) 2018 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
мiкроструктура тонких композитних плiвок метод Оже метод раманiвської спектроскопiї Microstructure of thin composite films Auger method Raman spectroscopy |
| spellingShingle |
мiкроструктура тонких композитних плiвок метод Оже метод раманiвської спектроскопiї Microstructure of thin composite films Auger method Raman spectroscopy Neimash, V. B. Poroshin, V. M. Kabaldin, A. M. Yukhymchuk, V. O. Shepelyavyi, P. E. Makara, V. A. Larkin, S. Yu. Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| topic_facet |
мiкроструктура тонких композитних плiвок метод Оже метод раманiвської спектроскопiї Microstructure of thin composite films Auger method Raman spectroscopy |
| format |
Article |
| author |
Neimash, V. B. Poroshin, V. M. Kabaldin, A. M. Yukhymchuk, V. O. Shepelyavyi, P. E. Makara, V. A. Larkin, S. Yu. |
| author_facet |
Neimash, V. B. Poroshin, V. M. Kabaldin, A. M. Yukhymchuk, V. O. Shepelyavyi, P. E. Makara, V. A. Larkin, S. Yu. |
| author_sort |
Neimash, V. B. |
| title |
Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| title_short |
Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| title_full |
Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| title_fullStr |
Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| title_full_unstemmed |
Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn |
| title_sort |
мiкроструктура тонких композитних плiвок si–sn |
| title_alt |
Microstructure of thin Si–Sn Composite Films |
| description |
Microstructure investigations of thin Si-Sn alloy films were carried out, by using Auger and Raman spectroscopies, X-ray fluorescence analysis, and electron microscopy. The films were produced by the thermal-vacuum coevaporation of Si and Sn. The properties of films with the Sn content ranging from 1 to 5 wt.% are studied. A significant influence of the tin impurity on the formation of a film surface microrelief and nanocrystals in the amorphous matrix is found. The size of quasispherical formations on the film surface can be of the order of 100 nm. The volume fraction of the silicon nanocrystalline phase in a film can reach 90%. The roles of fabrication conditions and growth rate on the distributions of Sn and technological impurities C and O over the film surface and across the film thickness are analyzed. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2018 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018363 |
| work_keys_str_mv |
AT neimashvb microstructureofthinsisncompositefilms AT poroshinvm microstructureofthinsisncompositefilms AT kabaldinam microstructureofthinsisncompositefilms AT yukhymchukvo microstructureofthinsisncompositefilms AT shepelyavyipe microstructureofthinsisncompositefilms AT makarava microstructureofthinsisncompositefilms AT larkinsyu microstructureofthinsisncompositefilms AT neimashvb mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT poroshinvm mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT kabaldinam mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT yukhymchukvo mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT shepelyavyipe mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT makarava mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn AT larkinsyu mikrostrukturatonkihkompozitnihplivoksisn |
| first_indexed |
2023-03-24T08:55:30Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:55:30Z |
| _version_ |
1795757613236879360 |