Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон
The problem of determining the content of nitrogen atoms in the low-pressure glow discharge (GD) plasma in a nitrogen–argon gas mixture has been considered. The balance of the nitrogen atomic concentration includes for the generation of nitrogen atoms in the course of the molecular nitrogen dissocia...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018558 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2018558 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20185582019-03-31T19:26:31Z Kinetics of Plasma Chemical Reactions Producing Nitrogen Atoms in the Glow Discharge in a Nitrogen–Argon Gas Mixture Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон Zhovtyansky, V. A. Anisimova, O. V. glow discharge plasma chemical reactions diffusion processes Boltzmann equation probe diagnostics atomic nitrogen PACS 51.50. v, 52.25.Dg, 52.80.Hc жеврiючий розряд плазмохiмiчнi реакцiї дифузiйнi процеси рiвняння Больцмана зондова дiагностика атомарний азот The problem of determining the content of nitrogen atoms in the low-pressure glow discharge (GD) plasma in a nitrogen–argon gas mixture has been considered. The balance of the nitrogen atomic concentration includes for the generation of nitrogen atoms in the course of the molecular nitrogen dissociation by the electron impact, the interaction of nitrogen molecules with metastable Ar, and the loss of nitrogen atoms in the diffusion process followed by the heterogeneous recombination at a GD cathode. The influence of the gas mixture composition on the atomic nitrogen generation is determined by numerical calculations, whereas the plasma parameters are found experimentally using the probe method. The electron energy distribution is determined by numerically integrating the Boltzmann equation written in the binomial approximation for a mixture of molecular nitrogen and argon. Розглянуто задачу визначення вмiсту атомарного азоту як активної компоненти, вiдповiдальної за ефективнiсть технологiй модифiкацiї поверхнi металiв у плазмi стацiонарного жеврiючого розряду (ЖР) низького тиску в сумiшi азот–аргон, широко застосовуванiй у цих технологiях. Баланс концентрацiї атомiв азоту включає їхню генерацiю дисоцiацiєю прямим електронним ударом молекулярного азоту та взаємодiєю останнього з аргоном у метастабiльних станах i втрати у дифузiйних процесах з подальшою гетерогенною рекомбiнацiєю на катодi ЖР. Вплив складу сумiшi на продукування атомарного азоту визначався розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, зондовим методом. Функцiя розподiлу електронiв за енергiями визначалась чисельним iнтегруванням рiвняння Больцмана, записаного в двочленному наближеннi для сумiшi молекулярного азоту й аргону. Publishing house "Academperiodika" 2018-10-28 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018558 10.15407/ujpe59.12.1155 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 59 No. 12 (2014); 1155 Український фізичний журнал; Том 59 № 12 (2014); 1155 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe59.12 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018558/626 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018558/627 Copyright (c) 2018 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
glow discharge plasma chemical reactions diffusion processes Boltzmann equation probe diagnostics atomic nitrogen PACS 51.50. v, 52.25.Dg, 52.80.Hc жеврiючий розряд плазмохiмiчнi реакцiї дифузiйнi процеси рiвняння Больцмана зондова дiагностика атомарний азот |
| spellingShingle |
glow discharge plasma chemical reactions diffusion processes Boltzmann equation probe diagnostics atomic nitrogen PACS 51.50. v, 52.25.Dg, 52.80.Hc жеврiючий розряд плазмохiмiчнi реакцiї дифузiйнi процеси рiвняння Больцмана зондова дiагностика атомарний азот Zhovtyansky, V. A. Anisimova, O. V. Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| topic_facet |
glow discharge plasma chemical reactions diffusion processes Boltzmann equation probe diagnostics atomic nitrogen PACS 51.50. v, 52.25.Dg, 52.80.Hc жеврiючий розряд плазмохiмiчнi реакцiї дифузiйнi процеси рiвняння Больцмана зондова дiагностика атомарний азот |
| format |
Article |
| author |
Zhovtyansky, V. A. Anisimova, O. V. |
| author_facet |
Zhovtyansky, V. A. Anisimova, O. V. |
| author_sort |
Zhovtyansky, V. A. |
| title |
Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_short |
Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_full |
Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_fullStr |
Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_full_unstemmed |
Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_sort |
кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон |
| title_alt |
Kinetics of Plasma Chemical Reactions Producing Nitrogen Atoms in the Glow Discharge in a Nitrogen–Argon Gas Mixture |
| description |
The problem of determining the content of nitrogen atoms in the low-pressure glow discharge (GD) plasma in a nitrogen–argon gas mixture has been considered. The balance of the nitrogen atomic concentration includes for the generation of nitrogen atoms in the course of the molecular nitrogen dissociation by the electron impact, the interaction of nitrogen molecules with metastable Ar, and the loss of nitrogen atoms in the diffusion process followed by the heterogeneous recombination at a GD cathode. The influence of the gas mixture composition on the atomic nitrogen generation is determined by numerical calculations, whereas the plasma parameters are found experimentally using the probe method. The electron energy distribution is determined by numerically integrating the Boltzmann equation written in the binomial approximation for a mixture of molecular nitrogen and argon. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2018 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018558 |
| work_keys_str_mv |
AT zhovtyanskyva kineticsofplasmachemicalreactionsproducingnitrogenatomsintheglowdischargeinanitrogenargongasmixture AT anisimovaov kineticsofplasmachemicalreactionsproducingnitrogenatomsintheglowdischargeinanitrogenargongasmixture AT zhovtyanskyva kinetikaplazmohimičnihreakcijutvorennâatomivazotuvževriûčomurozrâdivsumišiazotargon AT anisimovaov kinetikaplazmohimičnihreakcijutvorennâatomivazotuvževriûčomurozrâdivsumišiazotargon |
| first_indexed |
2023-03-24T08:56:12Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:56:12Z |
| _version_ |
1795757633905360896 |