Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу
The enhancement of the sensitivity of a surface-plasmon-resonance refractometer by forming a periodic relief in the form of a grating with a submicron period on the surface of an Au chip has been studied. Periodic reliefs with the spatial frequency v = (3370 ± 5) line/mm and various depths were form...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018675 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2018675 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20186752019-04-23T07:16:21Z Nanostructured Au Chips with Enhanced Sensitivity for Sensors Based on Surface Plasmon Resonance Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу Indutnyi, I. Z. Ushenin, Yu. V. Myn’ko, V. I. Shepeliavyi, P. E. Lukaniuk, M. V. Korchovyi, A. A. Khrystosenko, R. V. поверхневий плазмонний резонанс бiосенсори iнтерференцiйна лiтографiя вакуумнi халькогенiднi фоторезисти surface plasmon resonance biosensors interference lithography vacuum chalcogenide photoresists - The enhancement of the sensitivity of a surface-plasmon-resonance refractometer by forming a periodic relief in the form of a grating with a submicron period on the surface of an Au chip has been studied. Periodic reliefs with the spatial frequency v = (3370 ± 5) line/mm and various depths were formed on the Au film surface using interference lithography and vacuum chalcogenide photoresists. The degree of refractometer sensitivity enhancement and the variation interval of the environment refractive index, Δn, in which this enhancement is observed, are found to depend on the grating relief depth. The interval Δn decreases with the growth of the relief depth, whereas the sensitivity increases from 110 deg/RIU for a standard chip to 154 and 363 deg/RIU for structured chips with relief depths of 11.7 ± 2 and 18.5 ± 2 nm, respectively. В роботi проведенi дослiдження пiдвищення чутливостi поверхневого плазмонного резонансу рефрактометра за рахунок формування перiодичного рельєфу у виглядi ґратки з субмiкронним перiодом на поверхнi Au чiпа. Перiодичний рельєф рiзної глибини з просторовою частотою v = (3370 ± 5) лiн./мм було сформовано на поверхнi плiвки Au за допомогою iнтерференцiйної лiтографiї з використанням вакуумних халькогенiдних фоторезистiв. Встановлено, що кратнiсть пiдвищення чутливостi рефрактометра та величина iнтервалу змiни показника заломлення Δn середовища, в якому спостерiгається це пiдвищення, залежить вiд глибини рельєфу ґратки. При збiльшеннi глибини рельєфу ширина робочого iнтервалу Δn зменшується, а чутливiсть збiльшується вiд 110 град./RIU для стандартного чiпа, до 154 град./RIU та 363 град./RIU для структурованих чiпiв з глибиною рельєфу, що дорiвнює 11,7 ± 2 нм та 18,5 ± 2 нм вiдповiдно. Publishing house "Academperiodika" 2018-12-15 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018675 10.15407/ujpe62.05.0365 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 62 No. 5 (2017); 365 Український фізичний журнал; Том 62 № 5 (2017); 365 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe62.05 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018675/793 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018675/794 Copyright (c) 2018 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
поверхневий плазмонний резонанс бiосенсори iнтерференцiйна лiтографiя вакуумнi халькогенiднi фоторезисти surface plasmon resonance biosensors interference lithography vacuum chalcogenide photoresists - |
| spellingShingle |
поверхневий плазмонний резонанс бiосенсори iнтерференцiйна лiтографiя вакуумнi халькогенiднi фоторезисти surface plasmon resonance biosensors interference lithography vacuum chalcogenide photoresists - Indutnyi, I. Z. Ushenin, Yu. V. Myn’ko, V. I. Shepeliavyi, P. E. Lukaniuk, M. V. Korchovyi, A. A. Khrystosenko, R. V. Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| topic_facet |
поверхневий плазмонний резонанс бiосенсори iнтерференцiйна лiтографiя вакуумнi халькогенiднi фоторезисти surface plasmon resonance biosensors interference lithography vacuum chalcogenide photoresists - |
| format |
Article |
| author |
Indutnyi, I. Z. Ushenin, Yu. V. Myn’ko, V. I. Shepeliavyi, P. E. Lukaniuk, M. V. Korchovyi, A. A. Khrystosenko, R. V. |
| author_facet |
Indutnyi, I. Z. Ushenin, Yu. V. Myn’ko, V. I. Shepeliavyi, P. E. Lukaniuk, M. V. Korchovyi, A. A. Khrystosenko, R. V. |
| author_sort |
Indutnyi, I. Z. |
| title |
Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_short |
Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_full |
Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_fullStr |
Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_full_unstemmed |
Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_sort |
наноструктурованi au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу |
| title_alt |
Nanostructured Au Chips with Enhanced Sensitivity for Sensors Based on Surface Plasmon Resonance |
| description |
The enhancement of the sensitivity of a surface-plasmon-resonance refractometer by forming a periodic relief in the form of a grating with a submicron period on the surface of an Au chip has been studied. Periodic reliefs with the spatial frequency v = (3370 ± 5) line/mm and various depths were formed on the Au film surface using interference lithography and vacuum chalcogenide photoresists. The degree of refractometer sensitivity enhancement and the variation interval of the environment refractive index, Δn, in which this enhancement is observed, are found to depend on the grating relief depth. The interval Δn decreases with the growth of the relief depth, whereas the sensitivity increases from 110 deg/RIU for a standard chip to 154 and 363 deg/RIU for structured chips with relief depths of 11.7 ± 2 and 18.5 ± 2 nm, respectively. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2018 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018675 |
| work_keys_str_mv |
AT indutnyiiz nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT usheninyuv nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT mynkovi nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT shepeliavyipe nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT lukaniukmv nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT korchovyiaa nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT khrystosenkorv nanostructuredauchipswithenhancedsensitivityforsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT indutnyiiz nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT usheninyuv nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT mynkovi nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT shepeliavyipe nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT lukaniukmv nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT korchovyiaa nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT khrystosenkorv nanostrukturovaniaučipizpidviŝenoûčutlivistûdlâsensorivnaosnovipoverhnevogoplazmonnogorezonansu |
| first_indexed |
2023-03-24T08:56:34Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:56:34Z |
| _version_ |
1795757643963301888 |