Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО
Using the IR reflection method and the modified method of disturbed total internal reflection (DTIR), thin undoped conducting ZnO films grown with the use of the atomic layer deposition method have been studied theoretically and experimentally for the first time in a spectral interval of 400–1400 cm...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2019
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019006 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозиторії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2019006 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20190062021-06-30T15:36:00Z IR Spectroscopic Study of Thin ZnO Films Grown Using the Atomic Layer Deposition Method Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО Venger, E. F. Melnichuk, L. Yu. Melnichuk, A. V. Semikina, T. V. метод порушеного повного внутрiшнього вiдбивання провiднi нелегованi плiвки ZnO поверхневi плазмон-фононнi поляритони disturbed total internal reflection undoped conducting ZnO films surface plasmon-phonon polaritons - Using the IR reflection method and the modified method of disturbed total internal reflection (DTIR), thin undoped conducting ZnO films grown with the use of the atomic layer deposition method have been studied theoretically and experimentally for the first time in a spectral interval of 400–1400 cm−1. The parameters of ZnO films determined from the IR reflection spectra testify to the presence of frequency “windows” in the DTIR spectra, in which surface phonon and plasmon-phonon polaritons are excited. The theoretical calculations are in good agreement with the experimental results. The dispersion dependences of high- and low-frequency branches of DTIR spectra are plotted and analyzed. Уперше методами IЧ-вiдбивання та модифiкованим методом порушеного повного внутрiшнього вiдбивання (ППВВ) теоретично та експериментально дослiджено прозорi провiднi нелегованi плiвки ZnO, вирощенi методом атомного пошарового осадження (АПО) в областi частот 400–1400 см−1. Отриманi iз спектрiв IЧ-вiдбивання параметри плiвки ZnO вказують на наявнiсть у спектрах ППВВ частотних “вiкон”, в яких збуджуються поверхневi фононнi та плазмон-фононнi поляритони. Теоретичнi розрахунки задовiльно узгоджуються з експериментальними результатами. Побудовано та дослiджено дисперсiйнi залежностi високо- та низькочастотної гiлок спектрiв ППВВ. Publishing house "Academperiodika" 2019-01-04 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019006 10.15407/ujpe61.12.1053 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 61 No. 12 (2016); 1053 Український фізичний журнал; Том 61 № 12 (2016); 1053 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe61.12 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019006/877 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019006/878 Copyright (c) 2019 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
метод порушеного повного внутрiшнього вiдбивання провiднi нелегованi плiвки ZnO поверхневi плазмон-фононнi поляритони disturbed total internal reflection undoped conducting ZnO films surface plasmon-phonon polaritons - |
| spellingShingle |
метод порушеного повного внутрiшнього вiдбивання провiднi нелегованi плiвки ZnO поверхневi плазмон-фононнi поляритони disturbed total internal reflection undoped conducting ZnO films surface plasmon-phonon polaritons - Venger, E. F. Melnichuk, L. Yu. Melnichuk, A. V. Semikina, T. V. Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| topic_facet |
метод порушеного повного внутрiшнього вiдбивання провiднi нелегованi плiвки ZnO поверхневi плазмон-фононнi поляритони disturbed total internal reflection undoped conducting ZnO films surface plasmon-phonon polaritons - |
| format |
Article |
| author |
Venger, E. F. Melnichuk, L. Yu. Melnichuk, A. V. Semikina, T. V. |
| author_facet |
Venger, E. F. Melnichuk, L. Yu. Melnichuk, A. V. Semikina, T. V. |
| author_sort |
Venger, E. F. |
| title |
Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| title_short |
Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| title_full |
Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| title_fullStr |
Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| title_full_unstemmed |
Дослiдження методами ІЧ-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом АПО |
| title_sort |
дослiдження методами іч-спектроскопiї тонких плiвок оксиду цинку, вирощених методом апо |
| title_alt |
IR Spectroscopic Study of Thin ZnO Films Grown Using the Atomic Layer Deposition Method |
| description |
Using the IR reflection method and the modified method of disturbed total internal reflection (DTIR), thin undoped conducting ZnO films grown with the use of the atomic layer deposition method have been studied theoretically and experimentally for the first time in a spectral interval of 400–1400 cm−1. The parameters of ZnO films determined from the IR reflection spectra testify to the presence of frequency “windows” in the DTIR spectra, in which surface phonon and plasmon-phonon polaritons are excited. The theoretical calculations are in good agreement with the experimental results. The dispersion dependences of high- and low-frequency branches of DTIR spectra are plotted and analyzed. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2019 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019006 |
| work_keys_str_mv |
AT vengeref irspectroscopicstudyofthinznofilmsgrownusingtheatomiclayerdepositionmethod AT melnichuklyu irspectroscopicstudyofthinznofilmsgrownusingtheatomiclayerdepositionmethod AT melnichukav irspectroscopicstudyofthinznofilmsgrownusingtheatomiclayerdepositionmethod AT semikinatv irspectroscopicstudyofthinznofilmsgrownusingtheatomiclayerdepositionmethod AT vengeref doslidžennâmetodamiíčspektroskopiítonkihplivokoksiducinkuviroŝenihmetodomapo AT melnichuklyu doslidžennâmetodamiíčspektroskopiítonkihplivokoksiducinkuviroŝenihmetodomapo AT melnichukav doslidžennâmetodamiíčspektroskopiítonkihplivokoksiducinkuviroŝenihmetodomapo AT semikinatv doslidžennâmetodamiíčspektroskopiítonkihplivokoksiducinkuviroŝenihmetodomapo |
| first_indexed |
2023-03-24T08:56:47Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:56:47Z |
| _version_ |
1795757650277826560 |