Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду
A model of stationary reflex discharge, which is based on the volume-averaged (global) one, has been considered in the case of weakly ionized non-isothermal plasma. The temperature and the density of plasma electrons are calculated. The process of cathode sputtering and the formation of sputtered io...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2019
|
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019048 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| _version_ | 1863131259206631424 |
|---|---|
| author | Kovtun, Yu. V. Ozerov, A. N. Skibenko, E. I. Yuferov, V. B. |
| author_facet | Kovtun, Yu. V. Ozerov, A. N. Skibenko, E. I. Yuferov, V. B. |
| author_sort | Kovtun, Yu. V. |
| baseUrl_str | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2019-04-18T13:25:34Z |
| description | A model of stationary reflex discharge, which is based on the volume-averaged (global) one, has been considered in the case of weakly ionized non-isothermal plasma. The temperature and the density of plasma electrons are calculated. The process of cathode sputtering and the formation of sputtered ions by means of the electron impact ionization, Penning ionization, and sputtered ion charge exchange at gas ions in plasma are analyzed. The dependence of the ionization degree of sputtered atoms on plasma parameters is determined. The influence of the Penning ionization on the balance of charged particles in plasma is considered. |
| doi_str_mv | 10.15407/ujpe61.08.0702 |
| first_indexed | 2025-10-02T01:15:41Z |
| format | Article |
| id | ujp2-article-2019048 |
| institution | Ukrainian Journal of Physics |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | English |
| last_indexed | 2025-10-02T01:15:41Z |
| publishDate | 2019 |
| publisher | Publishing house "Academperiodika" |
| record_format | ojs |
| spelling | ujp2-article-20190482019-04-18T13:25:34Z Effect of Penning Ionization on the Balance of Charged Particles in Plasma of a Stationary Reflex Discharge Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду Kovtun, Yu. V. Ozerov, A. N. Skibenko, E. I. Yuferov, V. B. Penning ionization plasma ionization degree charge exchange reflex discharge - A model of stationary reflex discharge, which is based on the volume-averaged (global) one, has been considered in the case of weakly ionized non-isothermal plasma. The temperature and the density of plasma electrons are calculated. The process of cathode sputtering and the formation of sputtered ions by means of the electron impact ionization, Penning ionization, and sputtered ion charge exchange at gas ions in plasma are analyzed. The dependence of the ionization degree of sputtered atoms on plasma parameters is determined. The influence of the Penning ionization on the balance of charged particles in plasma is considered. Розглянуто модель стацiонарного вiдбивного розряду на основi просторово-усередненої (global) моделi у випадку слабкоiонiзованої неiзотермiчної плазми. Проведено розрахунок температури та густини електронiв плазми. Розглянуто процеси розпилювання катода та утворення iонiв розпорошених атомiв за рахунок iонiзацiї електронним ударом, пеннiнговської iонiзацiї та перезарядження на iонах газу у плазмi. Визначено ступiнь iонiзацiї розпорошених атомiв вiд параметрiв плазми. Розглянуто вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi. Publishing house "Academperiodika" 2019-01-05 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019048 10.15407/ujpe61.08.0702 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 61 No. 8 (2016); 702 Український фізичний журнал; Том 61 № 8 (2016); 702 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe61.08 en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019048/934 Copyright (c) 2019 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| spellingShingle | Kovtun, Yu. V. Ozerov, A. N. Skibenko, E. I. Yuferov, V. B. Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title | Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title_alt | Effect of Penning Ionization on the Balance of Charged Particles in Plasma of a Stationary Reflex Discharge |
| title_full | Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title_fullStr | Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title_full_unstemmed | Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title_short | Вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| title_sort | вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi стацiонарного вiдбивного розряду |
| topic_facet | Penning ionization plasma ionization degree charge exchange reflex discharge - |
| url | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019048 |
| work_keys_str_mv | AT kovtunyuv effectofpenningionizationonthebalanceofchargedparticlesinplasmaofastationaryreflexdischarge AT ozerovan effectofpenningionizationonthebalanceofchargedparticlesinplasmaofastationaryreflexdischarge AT skibenkoei effectofpenningionizationonthebalanceofchargedparticlesinplasmaofastationaryreflexdischarge AT yuferovvb effectofpenningionizationonthebalanceofchargedparticlesinplasmaofastationaryreflexdischarge AT kovtunyuv vplivpenningovsʹkoíionizaciínabalanszarâdženihčastinokuplazmistacionarnogovidbivnogorozrâdu AT ozerovan vplivpenningovsʹkoíionizaciínabalanszarâdženihčastinokuplazmistacionarnogovidbivnogorozrâdu AT skibenkoei vplivpenningovsʹkoíionizaciínabalanszarâdženihčastinokuplazmistacionarnogovidbivnogorozrâdu AT yuferovvb vplivpenningovsʹkoíionizaciínabalanszarâdženihčastinokuplazmistacionarnogovidbivnogorozrâdu |