Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану

The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: Koval, I. P., Len, Yu. A., Nakhodkin, M. G., Svishevs’kyi, M. O., Yakovenko, M. Yu.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Українська
Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2019
Теми:
Онлайн доступ:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics
_version_ 1863131307679154176
author Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
author_facet Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
author_sort Koval, I. P.
baseUrl_str https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/oai
collection OJS
datestamp_date 2019-04-11T08:02:21Z
description The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen sticking is calculated. It is shown that not only silicon but also titanium oxides are formed on the Si(001) surface covered with a titanium monolayer. The researches are carried out, by using the Auger electron spectroscopy method.
doi_str_mv 10.15407/ujpe60.01.0046
first_indexed 2025-10-02T01:16:21Z
format Article
id ujp2-article-2019286
institution Ukrainian Journal of Physics
keywords_txt_mv keywords
language English
Ukrainian
last_indexed 2025-10-02T01:16:21Z
publishDate 2019
publisher Publishing house "Academperiodika"
record_format ojs
spelling ujp2-article-20192862019-04-11T08:02:21Z Interaction of Molecular Oxygen with Si(001) Surface Covered with a Chromium or Titanium Monolayer Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану Koval, I. P. Len, Yu. A. Nakhodkin, M. G. Svishevs’kyi, M. O. Yakovenko, M. Yu. oxidation chromium titanium silicon - окислення хром титан кремнiй The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen sticking is calculated. It is shown that not only silicon but also titanium oxides are formed on the Si(001) surface covered with a titanium monolayer. The researches are carried out, by using the Auger electron spectroscopy method. Подано результати експериментальних дослiджень початкових етапiв взаємодiї молекулярного кисню при експозицiях до 107Л (Ленгмюр) з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому або титану. На основi експериментальних даних розраховано коефiцiєнт прилипання молекулярного кисню та показано, що на поверхнi Si(001), вкритiй моношаром титану, утворюються не тiльки оксиди кремнiю, а й оксиди титану. Дослiдження проводились за допомогою методу електронної оже-спектроскопiї. Publishing house "Academperiodika" 2019-01-22 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286 10.15407/ujpe60.01.0046 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 60 No. 1 (2015); 46 Український фізичний журнал; Том 60 № 1 (2015); 46 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe60.01 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286/1298 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286/1299 Copyright (c) 2019 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine
spellingShingle окислення
хром
титан
кремнiй
Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_alt Interaction of Molecular Oxygen with Si(001) Surface Covered with a Chromium or Titanium Monolayer
title_full Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_fullStr Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_full_unstemmed Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_short Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_sort взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею si(001), вкритою моношарами хрому та титану
topic окислення
хром
титан
кремнiй
topic_facet oxidation
chromium
titanium
silicon
-
окислення
хром
титан
кремнiй
url https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286
work_keys_str_mv AT kovalip interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT lenyua interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT nakhodkinmg interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT svishevskyimo interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT yakovenkomyu interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT kovalip vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT lenyua vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT nakhodkinmg vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT svishevskyimo vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT yakovenkomyu vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu