Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану

The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: Koval, I. P., Len, Yu. A., Nakhodkin, M. G., Svishevs’kyi, M. O., Yakovenko, M. Yu.
Формат: Стаття
Мова:English
Ukrainian
Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2019
Теми:
Онлайн доступ:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics
id ujp2-article-2019286
record_format ojs
spelling ujp2-article-20192862019-04-11T08:02:21Z Interaction of Molecular Oxygen with Si(001) Surface Covered with a Chromium or Titanium Monolayer Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану Koval, I. P. Len, Yu. A. Nakhodkin, M. G. Svishevs’kyi, M. O. Yakovenko, M. Yu. oxidation chromium titanium silicon - окислення хром титан кремнiй The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen sticking is calculated. It is shown that not only silicon but also titanium oxides are formed on the Si(001) surface covered with a titanium monolayer. The researches are carried out, by using the Auger electron spectroscopy method. Подано результати експериментальних дослiджень початкових етапiв взаємодiї молекулярного кисню при експозицiях до 107Л (Ленгмюр) з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому або титану. На основi експериментальних даних розраховано коефiцiєнт прилипання молекулярного кисню та показано, що на поверхнi Si(001), вкритiй моношаром титану, утворюються не тiльки оксиди кремнiю, а й оксиди титану. Дослiдження проводились за допомогою методу електронної оже-спектроскопiї. Publishing house "Academperiodika" 2019-01-22 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286 10.15407/ujpe60.01.0046 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 60 No. 1 (2015); 46 Український фізичний журнал; Том 60 № 1 (2015); 46 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe60.01 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286/1298 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286/1299 Copyright (c) 2019 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine
institution Ukrainian Journal of Physics
baseUrl_str
datestamp_date 2019-04-11T08:02:21Z
collection OJS
language English
Ukrainian
topic окислення
хром
титан
кремнiй
spellingShingle окислення
хром
титан
кремнiй
Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
topic_facet oxidation
chromium
titanium
silicon
-
окислення
хром
титан
кремнiй
format Article
author Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
author_facet Koval, I. P.
Len, Yu. A.
Nakhodkin, M. G.
Svishevs’kyi, M. O.
Yakovenko, M. Yu.
author_sort Koval, I. P.
title Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_short Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_full Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_fullStr Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_full_unstemmed Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_sort взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею si(001), вкритою моношарами хрому та титану
title_alt Interaction of Molecular Oxygen with Si(001) Surface Covered with a Chromium or Titanium Monolayer
description The results of experimental researches concerning the initial stages of the interaction between the Si(001) surface covered with a chromium or titanium monolayer and molecular oxygen at exposures to 107L (Langmuir) are reported. On the basis of experimental data, the coefficient of molecular oxygen sticking is calculated. It is shown that not only silicon but also titanium oxides are formed on the Si(001) surface covered with a titanium monolayer. The researches are carried out, by using the Auger electron spectroscopy method.
publisher Publishing house "Academperiodika"
publishDate 2019
url https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019286
work_keys_str_mv AT kovalip interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT lenyua interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT nakhodkinmg interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT svishevskyimo interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT yakovenkomyu interactionofmolecularoxygenwithsi001surfacecoveredwithachromiumortitaniummonolayer
AT kovalip vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT lenyua vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT nakhodkinmg vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT svishevskyimo vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
AT yakovenkomyu vzaêmodiâmolekulârnogokisnûzpoverhneûsi001vkritoûmonošaramihromutatitanu
first_indexed 2025-10-02T01:16:21Z
last_indexed 2025-10-02T01:16:21Z
_version_ 1851765206296821760