Формування нанокристалічного кремнію в плівках аморфного кремнію, легованого оловом
The process of crystalline silicon phase formation in tin-doped amorphous silicon (a-SiSn) films has been studied. The inclusions of metallic tin are shown to play a key role in the crystallization of researched a-SiSn specimens with Sn contents of 1–10 at% at temperatures of 300–500 ∘C. The crystal...
Gespeichert in:
| Datum: | 2020 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Publishing house "Academperiodika"
2020
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019570 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |