Використання спектроскопії та комп'ютерного моделю-вання для вивчення поверхонь, модифікованих іонною імплантацією

• Date: 2021
• Main Authors: Nikolaieva, D.Yu., Honcharov, V.V., Ivashin, D.Yu., Zazhigalov, V.O.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2021
• Subjects: XPS; енергодисперсiйна спектрометрiя; iмплантат; нанорозмiрна модифiкацiя поверхнi; iонна iмплантацiя; комп’ютерне моделювання; твердiсть
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020002
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

Using X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) and energy dispersion spectrometry, the phase and elemental compositions of the nanoscale surface layer of implants are studied. The method of determination of the optimal mode of nanoscale modification of the surfaces of metals and alloys by means of the...