2025-02-23T06:01:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22ujp2-article-2020088%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T06:01:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22ujp2-article-2020088%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T06:01:05-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T06:01:05-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля

У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндуковано...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Dvornichenko, A.V.
Format: Article
Language:English
Ukrainian
Published: Publishing house "Academperiodika" 2021
Subjects:
Online Access:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндукованої анiзотропної дифузiї, пропорцiйного до напруженостi пiдведеного електричного поля, на динамiку росту товщини плiвки та висоти поверхневих структур, морфологiю зростаючої поверхнi, статистичнi властивостi поверхневих багатошарових структур адсорбату та розподiл поверхневих структур за висотою.