Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля

• Дата: 2021
• Автор: Dvornichenko, A.V.
• Формат: Стаття
• Мова: English; Ukrainian
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2021
• Теми: метод фазового поля; епiтаксiальний рiст; поверхневi структури; електромiграцiя; числовi симуляцiї; статистичнi властивостi; Фізика поверхні; phase-field method; epitaxial growth; surface structures; electromigration; numerical simulation; statistical characteristics
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндукованої анiзотропної дифузiї, пропорцiйного до напруженостi пiдведеного електричного поля, на динамiку росту товщини плiвки та висоти поверхневих структур, морфологiю зростаючої поверхнi, статистичнi властивостi поверхневих багатошарових структур адсорбату та розподiл поверхневих структур за висотою.