Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля
У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндуковано...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English Ukrainian |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2020088 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20200882021-05-28T08:31:30Z Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля Electromigration Effects at Epitaxial Growth of Thin Films: Phase-Field Modeling Dvornichenko, A.V. метод фазового поля епiтаксiальний рiст поверхневi структури електромiграцiя числовi симуляцiї статистичнi властивостi Фізика поверхні phase-field method epitaxial growth surface structures electromigration numerical simulation statistical characteristics У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндукованої анiзотропної дифузiї, пропорцiйного до напруженостi пiдведеного електричного поля, на динамiку росту товщини плiвки та висоти поверхневих структур, морфологiю зростаючої поверхнi, статистичнi властивостi поверхневих багатошарових структур адсорбату та розподiл поверхневих структур за висотою. The epitaxial growth of thin films with regard for the anisotropy of the adsorbate surface diffusion induced by electromigration effects has been studied theoretically in the framework of the phase-field theory and with the use of numerical simulations. The influence of the coefficient of electromigration-induced anisotropic diffusion, which is proportional to the applied electric field strength, on the dynamics of growth of the fi lm thickness and the height of surface structures, growing surface morphology, statistical characteristics of the surface multilayer adsorbate structures, and distribution of surface structures over their heights is revealed. Publishing house "Academperiodika" 2021-05-28 Article Article Original Research Article (peer-reviewed) Оригінальна дослідницька стаття (з незалежним рецензуванням) application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088 10.15407/ujpe66.5.439 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 66 No. 5 (2021); 439 Український фізичний журнал; Том 66 № 5 (2021); 439 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe66.5 en uk https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088/1797 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088/1798 Copyright (c) 2021 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
English Ukrainian |
| topic |
метод фазового поля епiтаксiальний рiст поверхневi структури електромiграцiя числовi симуляцiї статистичнi властивостi Фізика поверхні phase-field method epitaxial growth surface structures electromigration numerical simulation statistical characteristics |
| spellingShingle |
метод фазового поля епiтаксiальний рiст поверхневi структури електромiграцiя числовi симуляцiї статистичнi властивостi Фізика поверхні phase-field method epitaxial growth surface structures electromigration numerical simulation statistical characteristics Dvornichenko, A.V. Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| topic_facet |
метод фазового поля епiтаксiальний рiст поверхневi структури електромiграцiя числовi симуляцiї статистичнi властивостi Фізика поверхні phase-field method epitaxial growth surface structures electromigration numerical simulation statistical characteristics |
| format |
Article |
| author |
Dvornichenko, A.V. |
| author_facet |
Dvornichenko, A.V. |
| author_sort |
Dvornichenko, A.V. |
| title |
Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_short |
Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_full |
Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_fullStr |
Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_full_unstemmed |
Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_sort |
ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля |
| title_alt |
Electromigration Effects at Epitaxial Growth of Thin Films: Phase-Field Modeling |
| description |
У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндукованої анiзотропної дифузiї, пропорцiйного до напруженостi пiдведеного електричного поля, на динамiку росту товщини плiвки та висоти поверхневих структур, морфологiю зростаючої поверхнi, статистичнi властивостi поверхневих багатошарових структур адсорбату та розподiл поверхневих структур за висотою. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2021 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088 |
| work_keys_str_mv |
AT dvornichenkoav efektielektromígracíípriepítaksíalʹnomurostítonkihplívokmodelûvannâmetodomfazovogopolâ AT dvornichenkoav electromigrationeffectsatepitaxialgrowthofthinfilmsphasefieldmodeling |
| first_indexed |
2023-03-24T08:58:47Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:58:47Z |
| _version_ |
1795757706412294144 |