Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля
У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндуковано...
Saved in:
| Date: | 2021 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | English Ukrainian |
| Published: |
Publishing house "Academperiodika"
2021
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Ukrainian Journal of Physics |